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控制电器,仪表和信号等设备大多可被电脑控制系统及电子组件所取代,但在小型设备和地局部控制的电路中仍有一定的应用范围。这也都是电路实现微机自动化控制的基础。系统组成常用的控制线路的基本回路由以下几部分组成。1,电源供电回路:供电回路的供电电源有ac380v和220v等多种,2,保护回路:保护(辅助)回路的工作电源有单相220,36v或直流220,24v等多种。传统的作组件在设备作与监视当中对电气设备和线路进行短路,过载和失压等各种保护,由熔断器,热继电器,失压线圈,整流组件和稳压组件等保护组件组成。设备主要有EKZ270 0/400型,投料量分别 S单晶炉图(来自产品样本)近年来。其前身为德国莱宝晶体生长部。目前其产品已经覆盖生产6”到16”单晶硅棒的设备德国CGS GmbH/德国Crystal Growing Systems (CGS) GmbH成立于1999年8月国产单晶硅生长炉设备行业发展迅速,已经占据绝大部分的国内市场份额。首先,国内单晶硅生长炉设备领域技术进步明显,逐步解决了单晶硅生长炉的关键技术难题,可以满足太阳能光伏晶体硅的需求。
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直接有效的方法是提高生产时效,增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作,经调研与现场试验,采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期,提高工作效率,而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度,具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动,又要上升运动,同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。